Dry etching for microelectronics
edited by Ronald A. Powell (North Holland Physics, 1984)
|
| Jenis Koleksi : | Buku Teks |
| No. Panggil : | 621.381 DRY |
| Entri tambahan-Nama orang : | |
| Subjek : | |
| Penerbitan : | Amsterdam : North Holland Physics, 1984 |
| Sumber Pengatalogan: | |
| ISBN: | 0444869050 |
| Tipe Konten: | |
| Tipe Media: | |
| Tipe Carrier: | |
| Edisi: | |
| Catatan Seri: | Materials processing--theory and practices ; v. 4 |
| Catatan Umum: | |
| Catatan Versi Asli: | |
| Deskripsi Fisik: | xi, 299 p. : ill. ; 24 cm. |
| Lembaga Pemilik: | Universitas Indonesia |
| Lokasi: | Perpustakaan UI, Lantai 2 |
| No. Panggil | No. Barkod | Ketersediaan |
|---|---|---|
| 621.381 DRY | 01-10-03008391 | TERSEDIA |
| 621.381 DRY | 01-10-03008392 | TERSEDIA |
| Ulasan: |
| Tidak ada ulasan pada koleksi ini: 141484 |
