Microlithography : process technology for IC fabrication
by David J. Elliott (McGraw-Hill, 1986)
|
Jenis Koleksi : | Buku Teks |
No. Panggil : | 621.381 73 ELL m |
Entri utama-Nama orang : | |
Subjek : | |
Penerbitan : | New York: McGraw-Hill, 1986 |
Sumber Pengatalogan: | |
ISBN: | 0070193045 |
Tipe Konten: | |
Tipe Media: | |
Tipe Carrier: | |
Edisi: | |
Catatan Seri: | |
Catatan Umum: | |
Catatan Versi Asli: | |
Deskripsi Fisik: | xix, 378 p. : ill. ; 24 cm. |
Lembaga Pemilik: | Universitas Indonesia |
Lokasi: | Perpustakaan UI, Lantai 2 |
No. Panggil | No. Barkod | Ketersediaan |
---|---|---|
621.381 73 ELL m | 01-10-04012101 | TERSEDIA |
Ulasan: |
Tidak ada ulasan pada koleksi ini: 20171567 |