Abstrak Mikrostruktur lapisan tipis amorf silikon karbon terhidrogenasi (a-Sich) telah dianalisis dengan menggunkan pendekatan medium efektif (PME) Bruggemann. Lapisan tipis dihasilakan dengan metode deposisi dc magnetron sputtering menggunakan dua jenis target : silikon dan grafit. Mikrosstruktur lapisan tipis ini dimodelkan terdiri atas tiga komponen: amorf tetrahedral (a-SicCH), amorf grafitik (a-C), dan microvoid. Untuk memperoleh respon optis komponen amor ...