Mounting vakum adalah suatu metode mounting yang dilakukan dalam kondisi vakum. dengan menggunakan alai mounting vakum. Dengan mounting vakum. dapat dicegah terjadinya celah antara sampel dan bohan mounting, sehingga kerusakan bagian tepi sampel yang akan dianalisa selama preparasi tidak terjadi. Proses mounting dilakukan setelah kondisi vakum dicapai. Sampel yang akan di-mounting dilelakan di tengah-tengah cetakan di dalam media yang alum divakumkan. Cairan mounting disiapkan di luar media akan mengisi cetakan setelah media divakumlam. Ketika cetakan hampir penuh, pengisian cetakan dihentikan dan kondisi dipertahankan tetap vakum sampai gelembung udara dalam cetakan hilang. Setelah bahan mounting telah mengeras baru dikeluarkan. Akhimya, hasil mounting dipreparasi dan diambil foto mikrostruktur bagian tepi sampel, dan membandingkannya dengan metode mounting tanpa vakum, selanjutnya dianalisa. Hasil akhir menunjukkan bahwa mounting vakum mencegah hilangnya lapisan oksida pada permukaan sampel filter dan menghasilkan ketebalan lapisan nitrokarhurasi sampel baja yang lebih tebal bila dibandingkan dengan mounting tanpa ruang vakum.