ABSTRAK
MEMS Variable capacitor telah banyak digunakan pada teknologi sekarang ini.Telah banyak jenis dan modifikasi yang dibuat untuk memaksimalkan nilai yangdidapat atau untuk mendapatkan berbagai hasil, kegunaan, dan lain-lain. MEMSVariable capacitor empat tiang dengan Comb-drive Actuators ini dirancangdengan menggunakan sebuah pelat stastis kemudian sebuah pelat bergerak padabagian atas dan ditopang empat tiang pada setiap sisi, Crab-leg Flexure sebagaipegasnya, serta Crab-leg Flexure yang menggunakan prrinsip elektrostatik padapengoperasiannya. Dengan penambahan aktuator elektrostatik pada MEMSvariable capacitor ini, frekuensi kerja dapat diubah-ubah dengan pengaturantegangan yang diberikan pada aktuator tersebut. Dengan frekuensi kerja yangdapat diubah-ubah ini, MEMS Variable capacitor dapat digunakan secara lebihluas lagi

---

ABSTRACT
MEMS Variable capacitor has been used for technology nowadays. It has beenmany kinds and modifications for maximizing its value or for application. Fourpillars MEMS Variable capacitor combined with Comb-drive Actuators isdesigned by using static plate then a plate moves above it and four pillarssupported at every side. Crab-leg Flexure is used as spring and using elctrostaticprinciple in the operation. Electrostatic actuator addition to MEMS Variablecapacitor makes the frequency of work can be changed by controlling voltage tothe actuator. By controlling this frequency of work, MEMS Variable capacitor canbe used for more application.