Fundamental Principles of Optical Lithography : the science of microfabrication / Chris Mack
Mack, Chris;
(John Wiley and Sons, 2007)
|
| Jenis Koleksi : | Buku Teks |
| No. Panggil : | 621.381 531 MAC f |
| Entri utama-Nama orang : | |
| Subjek : | |
| Penerbitan : | Chichester: John Wiley and Sons, 2007 |
| Sumber Pengatalogan: | |
| ISBN: | [9780470727300] |
| Tipe Konten: | |
| Tipe Media: | |
| Tipe Carrier: | |
| Edisi: | |
| Catatan Seri: | |
| Catatan Umum: | |
| Catatan Versi Asli: | |
| Deskripsi Fisik: | xvii, 515 p. : ill. ; 25 cm. |
| Lembaga Pemilik: | Universitas Indonesia |
| Lokasi: | Perpustakaan UI, Lantai 2 |
| No. Panggil | No. Barkod | Ketersediaan |
|---|---|---|
| 621.381 531 MAC f | 01-12-018039 | TERSEDIA |
| Ulasan: |
| Tidak ada ulasan pada koleksi ini: 20320375 |
