UI - Tesis Membership :: Kembali

UI - Tesis Membership :: Kembali

Visible light maskless photolithography untuk aplikasi biomachining = Visible light maskless photolithography for biomachining application

Dedi Suwandi; Jos Istiyanto, supervisor; Yudan Whulanza, supervisor; Sugeng Supriadi, examiner; Hendri Dwi Saptioratri Budiono, examiner; Agus Sunjarianto Pamitran, examiner (Fakultas Teknik Universitas Indonesia, 2013)

 Abstrak

Teknologi microstructur seperti proses lithography masih menjadi pekerjaan yang mahal dan susah dilakukan. Modifikasi metode dilakukan seperti mengganti light source dari UV light atau X-ray dengan visible light dan tanpa cetakan (maskless) kemudian mengganti proses removal material yang umumnya menggunakan echant diganti dengan proses biomachining untuk lebih menghemat energi dan biaya. Kedua proses akan digabungkan untuk lebih menghemat biaya, memudahkan proses dan ramah lingkungan. Proses dilakukan dengan menggunakan profil dari laptop kemudian ditampilkan melalui proyektor DLP komersial yang menyinari speciment uji. Lensa pemfokus diletakan dibawah proyektor untuk mendekatkan titik fokus dan memperkecil profil. Pemilihan kombinasi warna, pengaturan waktu proses lithography dilakukan untuk mendapat hasil terbaik. Menggunakan projector komersial, maskless photolithography pada negative resist tone berhasil dilakukan. Menggunakan kombinasi warna hitam-biru terang (R=0, G=176, B=240) dengan posisi lensa pembesaran 3X berjarak 3 cm dibawah proyektor dan 14 cm diatas speciment uji ditambah pengaturan waktu prebake 1 menit, exposure 7 menit, postbake 5 menit, developing 5 menit menghasilkan profil terkecil 166 µm dengan defiasi 13,7 µm. Penambahan proses biomachining dengan bakteri Acidithiobacillus ferrooxidans NBRC 14262 pada speciment uji berbahan tembaga juga berhasil dilakukan dengan profil terkecil 200 µm dengan deviasi 26 µm.

Microstructur technologies such as lithography process is still costly and difficult job done. Modification of the method is done such as replacing light source of UV light and X-rays to visible light and without prints (maskless) then change the material removal process generally uses echant replaced with biomachining process for energy and cost savings. Both processes will be combined for savings, ease of processing and environmentally friendly. The process is done by using the profile of a laptop then displayed through a commercial DLP projector shining speciment test. Fokusing lens placed under the projector to draw the focal point and reduces the size of the profile. Searched the best parameter set exposure time, developing time, variation profiles, fokusing, colors combination and optical aspect. Using a commercial projector, maskless photolithography on a negative resist tone successfully performed. The best characteristic is obtained by placing the focusing lens 3X magnification within 3 cm below the projector and 14 cm above speciment test, color combination of black-light blue (R = 0, G = 176, B = 240), with the timing of prebake 1 minute, exposure 7 minutes, postbake 5 minutes, developing 5 minutes produces the smallest profile 166 µm with 13,7 µm deviation. Biomachining process with bacteria Acidithiobacillus ferrooxidans NBRC 14262 on copper was also successfully performed with the smallest profile of 180 µm with deviation of 26 µm.

 File Digital: 1

Shelf
 T35235-Dedi Suwandi.pdf :: Unduh

LOGIN required

 Metadata

Jenis Koleksi : UI - Tesis Membership
No. Panggil : T35235
Entri utama-Nama orang :
Entri tambahan-Nama orang :
Entri tambahan-Nama badan :
Program Studi :
Subjek :
Penerbitan : Depok: Fakultas Teknik Universitas Indonesia, 2013
Bahasa : ind
Sumber Pengatalogan :
Tipe Konten : text
Tipe Media : unmediated ; computer
Tipe Carrier : volume ; online resource
Deskripsi Fisik : xiv, 53 pages : illustration ; 28 cm + appendix
Naskah Ringkas :
Lembaga Pemilik : Universitas Indonesia
Lokasi : Perpustakaan UI, Lantai 3
  • Ketersediaan
  • Ulasan
  • Sampul
No. Panggil No. Barkod Ketersediaan
T35235 15-20-389990506 TERSEDIA
Ulasan:
Tidak ada ulasan pada koleksi ini: 20349184
Cover