Telah dilakukan pengamatan sinyal fototermal pada lempeng silikon dengan teknik defleksi fototermal transversal, yaitu berkas laser penguji dilewatkan permukaan lempeng secara menyusur. Dalam metode ini digunakan laser Argon Ion sebagai pemompa dan He-Ne sebagai berkas penguji. Gejala fototermal yang muncul tergantung dari konsentrasi atom-atom atau senyawa senyawa pada bahan yang bersifat menyerap radiasi laser