ABSTRAKKaca konduktor memiliki fungsi strategis di berbagai aplikasi elektronik. Jenis
yang menjanjikan adalah Fluorine-doped Tin Oxide (FTO). Dalam penelitian ini
dilakukan studi pengaruh waktu deposisi (5, 10, 20, 30, dan 40 menit) lapisan tipis
FTO dengan metode spray pyrolysis menggunakan alat ultrasonic nebulizer yang
telah dimodifikasi terhadap nilai karakteristik lapisannya ditinjau dari sifat optis,
kristalinitas, resistivitas, dan mikrostruktur. Variasi juga dilakukan dengan
membandingkan prekursor Sn murni dan larutan yang telah didoping dengan F
sebanyak 2%wt untuk melihat pengaruh penambahan doping F pada larutan
prekursor. Pengujian karakteristik lapisan dilakukan menggunakan XRD, SEM,
UV-Vis spectroscopy, dan digital multimeter. Berdasarkan karakterisasi yang
dilakukan diperoleh nilai terbaik untuk FTO yang dihasilkan adalah pada waktu
deposisi 20 menit dengan nilai transmitansi 74%, energi band gap (Eg) 3,85 eV,
dan sheet resistance (Rs) 7,99 Ω/sq.
ABSTRACTConductive glass has strategic functions in various electronic applications. One
of the lead is Fluorine-doped Tin Oxide (FTO). In this research, the effects of
deposition time (5,10,20,30, and 40 minutes) for fabrication of FTO thin film upon
spray pyrolysis process using modified ultrasonic nebulizer on its characteristic
in terms of optical, crystalinity, resistivity and microstructure properties has been
studied. Variation was also performed by comparing the pure Sn precursor and
the solution that has been doped with F 2%wt to see the doping effect to
properties of thin film. The thin film characterization were carried out using XRD,
SEM, UV-Vis spectroscopy, and digital mutlimeter. Based on the results obtained
for the best FTO was generated at the time of deposition is 20 minutes. Providing
74% transmittance, band gap energy (Eg) 3.85 eV and sheet resistance (Rs) 7.99
Ω/sq.
S62876-Cahya Ahmad Trisdianto.pdf :: Unduh