Mikrokantilever mulai dilirik oleh para peneliti untuk diaplikasikan sebagai biosensor dalam dunia kesehatan, biologi,
kimia dan lingkungan hidup. Mekanisme dan prinsip kerja mikrokantilever sensor ini terus digali untuk memperdalam
pengetahuan sistem sensor dan aplikasinya pada target obyek tertentu. Makalah ini memaparkan simulasi deteksi
mikrokantilever sensor berbasis persamaan Euler-Bernoulli dan perancangan sistem sensor berbasis piezoresistive
mikrokantilever. Pada studi simulasi, perubahan frekuensi resonansi sebagai deteksi keberadaan obyek dihitung dengan
menggunakan mikrokantilever yang mempunyai panjang 110 μm, lebar 50 μm, dan tebal 1 μm. Massa mikrokantilever
adalah 12,815 nanogram (sudah termasuk massa receptor-nya). Target obyek yang dideteksi adalah bakteri, di mana
massa untuk satu bakteri diasumsikan 0,3 pikogram. Saat terdeteksi, satu massa obyek bakteri menyebabkan nilai
defleksi sebesar 3,05355×10-11 m dan nilai frekuensi resonansi sebesar 118,90 kHz, sedangkan untuk empat obyek
bakteri menyebabkan nilai defleksi sebesar 3,05445×10-11 m dan nilai frekuensi resonansi sebesar 118,68 kHz. Hasil ini
menunjukkan bahwa bertambahnya massa bakteri akan menyebabkan naiknya nilai defleksi dan turunnya nilai
frekuensi resonansi. Hasil ujicoba sistem mikrokantilever sensor juga menunjukkan bahwa sistem bekerja normal dan
dapat digunakan untuk ujicoba terhadap target obyek tertentu.
