Telah dilakukan studi kekerasan pada paduan Co-Cr-Mo yang dibuat secara tuang dan lapisan tipis. Ketebalan lapisan tipis dibuat bervariasi lOOOA, 1500A, 2000A, 2500A dan 3000A di atas substrat kaca dengan cara evaporasi elektron beam. Diuji kekerasan, morfologi permukaan dan komposisi serta uji termal. Hasil uji kekerasan lapisan tipis lebih tinggi dibandingkan paduan Co-Cr-Mo. Morfologi komposisi l-apisan tipis olk89berbeda dengan komposisi paduan dan pengamatan dengan TGA (Thermal Gravimetry Analyzer) selama pemanasan terjadi oksidasi baik pada paduan maupun pada lapisan tipis, tampak pertambahan massa pada kurva thermal gravimetry, pada lapisan pertambahan massa lebih besar dibandingkan dengan paduan. Pada DTA (Differensial Thermal Analyzer) terjadi dekomposisi dan perubahan fasa, baik pada paduanmaupun lapisan.