Seiring dengan perkembangan zaman, kebutuhan energi manusia semakin meningkat dan dibutuhkan berbagai alternatif sumber energi untuk memenuhinya, salah satu teknologi yang dapat memenuhi kebutuhan tersebut adalah sel surya. Salah satu jenis dari sel surya yang sedang berkembang secara pesat adalah sel surya perovskit. Sel surya perovskit masih memiliki beberapa permasalahan, diantaranya yaitu saat muatan bergerak antara lapisan sel surya, dapat terjadi fenomena yang bernama trapped charges, dan salah satu metode untuk mengatasi permasalahan tersebut adalah penambahan TEOS sebagai lapisan pasif pada saat deposisi lapisan aktif yang dapat memperbaiki ketidaksempurnaan kontur yang menyebabkan muatan menjadi trapped. Fabrikasi TEOS dengan katalis CuO/SiO2 memberikan TEOS yang memiliki ikatan antar atom yang lebih kuat dan kualitas bahan yang lebih baik. Konsentrasi dari katalis dapat memberi dampak pada produk akhir dari reaksi kimia, dan nilai suhu saat reaksi berlangsung juga terkadang memengaruhi kebutuhan konsentrasi katalis untuk proses reaksi, sehingga nilai konsentrasi terbaik untuk fabrikasi TEOS sebagai lapisan pasif perlu dicari. Penelitian dilakukan dengan menggunakan konsentrasi katalis yang berbeda dengan nilai 0,5 mol%; 1 mol%; and 1,5 mol% dari katalis CuO/SiO2 untuk fabrikasi TEOS yang kemudian akan dideposisikan sebagai lapisan pasif sel surya. Fabrikasi dari sel surya perovskit yang menggunakan lapisan pasif yang fabrikasinya menggunakan konsentrasi katalis CuO/SiO2 sebanyak 1 mol% dengan struktur TiO2/Perovskit/Karbon memberikan hasil terbaik dengan

---

product, and the temprature in which the chemical reaction happen can sometimes have impact on the consentration of the catalyst needed, so the ideal consentration for TEOS fabrication as passive layer need to be discovered. Research is done by using different catalyst concentration of 0.5 mol%, 1 mol%, and 1.5 mol% of CuO/SiO2 catalyst for TEOS fabrication which then later deposited as the passive layer of solar cell. Solar cell fabrication with a passive layer that utilizes 1 mol% of CuO/SiO2 catalyst with TiO2/Perovskite/carbon structure yield the best result with value of Isc 21.18 A, value of Voc 0.04 mV, and fill factor of 0.243.