Artikel Jurnal :: Kembali

Artikel Jurnal :: Kembali

Desain sensor massa resonator mems menggunakan struktur free-free beam

Wangi Pandan Sari; (Pusat Penelitian dan Pengabdian Pada Masyarakat (P3M) STTA, 2021)

 Abstrak

MEMS (micro-electromechanical systems) merupakan perangkat terintegrasi elektro-mekanik yang teknologinya telah diterapkan untuk berbagai aplikasi, salah satunya untuk fabrikasi mikrosensor seperti akselerometer, mikrosensor penginderaaan aliran, penginderaan tekanan, dan penginderaan massa. Dalam implementasi MEMS, terdapat beberapa pendekatan dan struktur yang dapat digunakan. Penelitian ini melakukan perancangan sensor massa resonator MEMS dengan menggunakan pendekatan resonator mekanik dengan struktur free-free beam yang diaktuasi secara elektrostatik. Desain yang dirancang diharapkan dapat menghasilkan sensor massa dengan performa yang tinggi

 Metadata

Jenis Koleksi : Artikel Jurnal
No. Panggil : 620 JIA XIII:2 (2021)
Entri utama-Nama orang :
Subjek :
Penerbitan : Yogyakarta: Pusat Penelitian dan Pengabdian Pada Masyarakat (P3M) STTA, 2021
Sumber Pengatalogan : LibUI ind rda
ISSN : 20859503
Majalah/Jurnal : Jurnal Ilmiah Bidang Teknologi Angkasa
Volume : Vol. XIII, No. 2, November 2021: Hal. 135-142
Tipe Konten : text
Tipe Media : unmediated
Tipe Carrier : volume
Akses Elektronik : http://dx.doi.org/10.28989/angkasa.v13i2.1083
Institusi Pemilik : Universitas Indonesia
Lokasi : Perpustakaan UI, Lantai 4 R. Koleksi Jurnal
  • Ketersediaan
  • Ulasan
  • Sampul
No. Panggil No. Barkod Ketersediaan
620 JIA XIII:2 (2021) 08-24-74556733 TERSEDIA
Ulasan:
Tidak ada ulasan pada koleksi ini: 9999920537196
Cover