Hasil Pencarian  ::  Simpan CSV :: Kembali

Hasil Pencarian

Ditemukan 16793 dokumen yang sesuai dengan query
cover
Vivi Fauzia
"Telah diteliti efek self heating yang mempengaruhi sifat konduksi listrik material BaTiO3 dengan metode spektroskopi impedansi. Efek ini teramati setelah tegangan eksekusi lebih dari 5 Vpp. Spektrum impedansi (Cole-Cole Plot) material BaTiOj terlihat mengalami penyimpangan (depresi) dari spektnan sebelum terjadinya efek self heating yaitu pada tegangan eksekusi 1 Vpp. Pemodelan rangkaian ekivalen listrik yang sesuai dengan data eksperimen berupa rangkaian seri antara rangkaian paralel RflCi yang merupakan sumbangan konduksi di dalam gram dan rangkaian paralel RJ/CPEyang merepresentasikan sumbangan konduksi dari batas grain. Efek self heating dimodelkan dengan faktor CPE yang mengakomodasi ketidakhomogenan sifat elektronis material."
2004
SAIN-9-2-2004-17
Artikel Jurnal  Universitas Indonesia Library
cover
Djarwani Soeharso Soejoko
"Sampel senyawa kalsium fosfat dibuat dari larutan ion kalsium dan ion fosfat jenuh. Eksperimen dilakukan dengan perlakuan suhu 25 °C dan 70 °C, yang dikombinasikan dengan perlakuan pH 5, 7, 9 dan 11. Hasil presipitasi larutan pada suhu 70 °C mempunyai massa relatif lebih tinggi dibanding dengan massa presipitan yang dihasilkan oleh larutan pada suhu 25 °C. Pada umumnya massa presipitan meningkat dengan kenaikan pH. Analisis sampel dilakukan dengan spektrokopi inframerah, terutama pada sampel hasil presipitasi pada suhu 70 °C. Berdasarkan derajat belah pita absorpsi fosfat 􀁮4, dapat diketahui bahwa pada umumnya semua sampel mengandung kristal apatit dan yang meningkat dengan kenaikan pH larutan. Dari pemanasan sampel hasil presipitasi larutan dengan pH 11 diperoleh pula informasi bahwa molekul air, dapat berada pada permukaan kristal maupun terperangkap dalam struktur kristal.

Infrared Spectroscopy of Precipitated Calcium Phosphate Compound. Samples of calcium phosphate compounds were produced from saturated solutions containing of calcium and phosphate ions. The experiments were carried out using solutions at temperature 25 °C and 70 °C, combined with different pH value of 5, 7, 9 and 11. Precipitation mass from solutions at 70 °C was relatively higher compare to that produced from solutions at 25 °C. It was also shown that generally the mass precipitation rose with the increasing of pH. Sample analyses were performed with the use of infrared spectroscopy, particularly for the samples produced from solutions at 70 °C. Based on the 􀁮4 phosphate absorption band, it was indicated that apatite crystals found in most samples which its amount gave rise to the increasing of pH. Infrared spectroscopy of the heated samples produced with pH 11 showed that water molecules could be present either at the surface of crystals or trapped in the crystal structure."
Depok: Lembaga Penelitian Universitas Indonesia, 2002
AJ-Pdf
Artikel Jurnal  Universitas Indonesia Library
cover
Hardjono Sastrohamidjojo
Yogyakarta : Liberty, 1994
543.5 HAR s
Buku Teks  Universitas Indonesia Library
cover
Dwi Nugraheni Rositawati
"Telah dilakukan pembuatan keramik Ba0,5Sr0,5TiO3 dengan metode "Mechanosynthesis powder". Bubuk BaCO3, SrCO3 dan TiO2 digunakan sebagai material dasar. Bubuk dicampur dan dimilling selama 4 jam kemudian dikalsinasi pada 1100°C selama 4 jam menghasilkan fase tunggal Ba0,5Sr0,5TiO3 yang diketahui dari XRD. Bubuk Ba0,5Sr0,5TiO3 dipress menjadi pellet dengan tekanan 4 ton/cm2 kemudian disinterring pada 1200°C dan 1300°C selama 1-3 jam. Salah satu sampel yang disintering pada 1200°C 2 jam diannealing pada 900°C selama 1, 2 dan 4 jam. SEM digunakan untuk mengetahui ukuran, bentuk dan distribusi butir serta software ZsimpWin digunakan untuk mengetahui rangkaian listrik ekivalen, nilai resistansi R dan kapasitansi C. Waktu sintering yang semakin lama akan menghasilkan butir yang cenderung semakin besar serta menurunkan nilai R dan C butir dan batas butir. Waktu annealing yang semakin lama akan menghasilkan butir yang cenderung semakin kecil dan homogen serta menaikkan nilai resistansi R dan kapasitansi C butir dan batas butir.

Preparation of Ba0,5Sr0,5TiO3 ceramic has been done by Mechanosynthesis powder method. BaCO3, SrCO3 dan TiO2 powder was used as raw materials. The powder was mixed and milled for 4 hours then calcined at 1100°C for 4 hours resulting single fase Ba0,5Sr0,5TiO3 confirmed by XRD. Ba0,5Sr0,5TiO3 powder was pressed to form pellet at 4 ton/cm2 then sintered at 1200°C and 1300°C for 1-3 hours. One of the 1200°C 2 hours sintered sample was annealed at 900°C for 1, 2 and 4 hours. SEM was employed to observe the size, morphology and distribution of grain and ZsimWin software was employed to know the equivalent circuit, value of resistance R and capacitance C. It is seems that with longer sintering time, the grain size increases and the values of R and C for both grain and grain boundary contribution decrease. However after annealing their values increase due to decreasing in grain size."
Depok: Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam Universitas Indonesia, 2008
T21430
UI - Tesis Open  Universitas Indonesia Library
cover
Syahril
"Telah dilakukan penelitian tentang sifat ferroelektrik pada material PTC dan BaTiO3 dengan menggunakan metode spektroskopi impedansi pada temperatur tinggi dengan kisaran antara 25 oC sampai 425 oC. Sampel BaTiO3 telah disintering pada temperatur 1200 oC selama 0,5 jam,2 jam, dan 4 jam. Transformasi fase dari material ini dianalisis dari grafik resistansi dan konduktivitas sebagai fungsi temperatur. Sedangkan data impedansi disajikan dalam Nyquist plot dan Bode plot digunakan untuk mengidentifikasi rangkaian ekivalen dan parameter sirkuit pada temperatur yang berbeda-beda. Pada semua sampel terjadi kenaikkan nilai resistansi secara drastis mencapai tiga orde, yang menunjukkan efek PTC pada material ini. Perbedaan waktu sintering memberikan pengaruh yang signifikan terhadap temperatur transisi material BaTiO3 dari fase ferroelektrik ke paraelektrik.
Analisis Nyiquist menunjukkan bahwa semakin lama waktu sintering terjadi penurunan yang signifikan terhadap nilai resitansi dari material ini. Hasil fitting rangkaian ekivalen dengan program ZsimWin 3.10 menunjukkan bahwa ukuran grain, grain boundary, interface dan kontak memberikan kontribusi terhadap sifat listrik dari material ini. Konduktivitas a.c bulk sebagai fungsi temperatur dan frekuensi juga telah diteliti, Dengan persamaan Arrhenius diperoleh nilai energi aktivasi untuk konduktivitas a.c BaTiO3 adalah 0,44 eV untuk proses relaksasi pertama, dan 0,072 eV untuk proses relaksasi kedua.

Investigation to electrical property of ferroelectric PTC and BaTiO3 materials have been done toward by impedance spectrocopy method in high temperature with temperature range 25oC-425 oC. BaTiO3 samples were sintered a temperature 1200 oC, each for 0,5 hour, 2 hours, and 4 hours. Phase transformation of these materials is analysed from the graphs of resistance and conductivity as a function of temperature. While the impedance data presented in the Nyquist plot and Bode plot is used to identify the equivalent circuit and circuit parameters at different temperatures. All samples show drastically increase in the resistance value up to three(3) orde, that give rise to the PTC effect of these materials. The effect of sintering time results significant changes in the transition temperature of BaTiO3 from ferroelectric to paraelectric phase.
From Nyquist plot analysis shows that increasing in sintering time result in decreasing the resistance values of materials significantly. The fitting results of the equivalent circuits by using ZsimWin 3.10 suggest that the grain size, the grain boundary, interfaces and contacts contribute to the electrical properties of these materials. Bulk a.c conductivity as a function of temperature and frequency have also been studied. By using Arrhenius relation the values of activation energy for a.c conductivity of BaTiO3 is 0.44 eV and 0.72 eV for the first and the second relaxation process.
"
Depok: Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam Universitas Indonesia, 2012
T31866
UI - Tesis Open  Universitas Indonesia Library
cover
Ahmad Khalil Yaqubi
"Pada penelitian ini, kami mencoba mempelajari dan menganalisis efikasi kation divalen melalui proses sintering dan metode Sol-gel dengan substitusi Fe-site pada struktur kisi dan cara menganalisis rangkaian La0.8Sr0.2Fe1-xMgxO3 ( x = 0,1, 0,2, dan 0,3) bahan perovskit. Produk dikarakterisasi dengan difraktometer sinar-X (XRD), Scanning Electron Microscope (SEM), analisis Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FTIR), analisis Brunauer – Emmett – Teller (BET), Raman Scattering Spectra dan UV-Vis Spectroscopy. Analisis XRD menunjukkan bahwa bahan perovskit ini cocok dengan grup ruang Pbnm dan struktur ortorombik. Parameter kisi dan ukuran kristal meningkat dengan meningkatnya substitusi Mg, hal ini menunjukkan bahwa keberadaan Mg2+ dalam kisi kristal menghambat pertumbuhan ukuran kristal. Hasil analisis SEM menunjukkan bahwa partikel sampel umumnya memiliki bentuk sferis yang tidak homogen. Hasil karakterisasi EDX dan XRF menegaskan komposisi unsur semua sampel, unsur utama La, Sr, Fe, Mg, O muncul pada spektrum EDX sesuai perhitungan stoikiometri. Sedangkan uji BET menunjukkan adanya keragaman nilai luas permukaan yang terkonfirmasi karena adanya perbedaan komposisi unsur berdasarkan perhitungan stoikiometri pada sampel serbuk. Sifat optik dikarakterisasi dengan menggunakan UV-Vis menunjukkan celah energi ikatan yang lebih kecil dengan meningkatnya doping Mg. Nilai celah pita meningkat dengan meningkatnya konstanta doping. Sifat kelistrikan diuji menggunakan metode spektroskopi impedansi dengan variasi frekuensi (1 kHz – 2 MHz) dan temperatur (30° – 175 °C). Data impedansi disajikan dalam bentuk plot Nyquist dan plot Bode, digunakan untuk mengidentifikasi parameter rangkaian ekivalen. Ketika suhu meningkat plot Nyquist, menunjukkan pengurangan diameter setengah lingkaran. Data impedansi menunjukkan penurunan Z', dengan meningkatnya suhu. Dalam Z” puncaknya asimetris dan meluas dengan meningkatnya suhu, dan puncak relaksasi menurun bergeser ke frekuensi yang lebih tinggi menunjukkan bahwa relaksasi tergantung pada aktivasi termal pembawa muatan. Menurut studi dielektrik, dengan meningkatnya suhu, konstanta dielektrik meningkat. Dalam konstanta dielektrik imajiner pada frekuensi rendah, sampel memiliki konstanta dielektrik tertinggi di semua rentang suhu. Konduktivitas di wilayah frekuensi tinggi (>104 Hz) meningkat dengan meningkatnya frekuensi, karena melompat antara ion di situs B konduktivitas meningkat dengan meningkatnya suhu.

In this work, we tried to study and analyze the efficacy of divalent cation by sintering process and using Sol-gel method with substitution the Fe-site on the lattice structure and how-to analysis a series of La0.8Sr0.2Fe1-xMgxO3 (x = 0.1, 0.2, and 0.3) perovskite material. The products were characterized with X-ray diffractometer (XRD), Scanning Electron Microscope (SEM), Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FTIR) analysis, Brunauer – Emmett – Teller (BET), Raman Scattering Spectra and UV-Vis Spectroscopy. The XRD analysis indicated that these perovskite materials are well fitted with the space group and an orthorhombic structure. The lattice parameters and crystallite size increase with the increase of Mg substitutions, indicating that the presence of Mg2+ in the crystal lattice inhibits the growth of the crystallite size. The results of the SEM analysis showed that the sample particles generally have an inhomogeneous spherical shape. The results of EDX and XRF characterization confirmed the elemental composition of all samples, the main elements La, Sr, Fe, Mg, O appeared in the EDX spectrum according to the stoichiometric calculations. While the BET test showed the diversity of surface area values ​​which are confirmed due to differences in element composition based on stoichiometric calculations in powder samples. The optical properties were characterized by using UV-Vis showing a smaller bond energy gap with the increase in Mg doping. The bandgap value increased with increasing doping constant. Electrical properties were tested by using impedance spectroscopy method with variations in frequency (1 kHz – 2 MHz) and temperature (30 ° – 175 °C). Impedance data presented in the form of a Nyquist plot and a Bode plot, used for identify the equivalent circuit parameters. When the temperature increased the Nyquist plot, showed the reduction of semicircular diameter. Impedance data indicated the decrease of Z', by increasing temperature. In Z” the peaks are asymmetrical and expanded with increasing temperature, and relaxation peaks decreases shifting to a higher frequency indicated that relaxation is dependent on the thermal activation of the charge carrier. According to dielectric studies, with increasing temperature, the dielectric constant increases. In imaginary dielectric constant at low frequency, samples have the highest dielectric constant in all temperature ranges. The conductivity in the high frequency region (>104 Hz) increases with increasing frequency, due to hopping between ions at site B the conductivity increases with increasing temperature.
"
Depok: Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam Universitas Indonesia, 2021
T-Pdf
UI - Tesis Membership  Universitas Indonesia Library
cover
Tukimin
"Telah dilakukan suatu penelitian melalui spektroskopi impedansi untuk mengetahui sifat-sifat listrik bahan perovskite (Ba,Sr)TiO3 pada temperatur tinggi pada kisaran 25 hingga 425 oC. Sampel bahan perovskite (Ba,Sr)TiO3 berupa pellet terdiri dari enam buah. Tiga buah sampel disinter 1200°C masing-masing selama 1, 2, dan 3 jam. Tiga buah sampel yang lain disinter 1200°C selama 2 jam kemudian dianil 900°C masing-masing selama 1, 2 dan 4 jam. Data impedansi disajikan dalam bentuk Nyquist plot dan Bode plot yang digunakan untuk mengidetifikasi parameter rangkaian ekivalen. Parameter penting rangkaian ekivalen seperti resistansi dan kapasitansi dihitung sebagai fungsi dari temperatur. Sifat listrik bahan perovskite (Ba,Sr)TiO3 dapat dideskripsikan dengan rangkaian R, RC paralel maupun kombinasi dari keduanya yang menunjukkan adanya kontribusi dari grain, grain boundary, interface dan kontak.
Hasil percobaan menunjukkan bahwa semakin lama waktu sintering dan annealing menyebabkan bergesernya temperetur transisi dari feroelektrik menjadi paraelektrik menuju temperatur yang lebih tinggi. Perbedaan lama waktu sintering dan annealing tidak menyebabkan perubahan nilai resistansi dan kapasitansi yang signifikan. Perbandingan nilai resistansi bahan perovskite (Ba,Sr)TiO3 baik yang disinter 1200 oC masing-masing selama 1, 2, dan 3 jam maupun dianil 900°C masing-masing selama 1, 2 dan 4 jam hasil pengukuran pada temperatur kamar dan 100°C dengan pengukuran pada temperatur 400°C sebesar dua orde. Energi aktivasi hasil percobaan pada rentang temperatur 325°C hingga 425°C adalah 0.52 eV.

The electrical properties of (Ba,Sr)TiO3 perovskite materials are investigated by impedance spectroscopy in the temperature range 25 to 450°C. There are six pellets of (Ba,Sr)TiO3 perovskite materials. Three samples are sintered at 1200°C for 1, 2 and 3 hours. The rest were sintered at 1200°C for 2 hours then annealed at 900°C for 1, 2 and 4 hours. Impedance data are presented in the Nyquist plot which is used to identify an equivalent circuit. The fundamental circuit parameters such as resistance and capacitance are determined at different temperatures. The electrical properties of (Ba,Sr)TiO3 perovskite materials may also descripted by R, parallel RC, or both combinations that seems a grain, grain boundary, interface and contact contributions.
The results of the experiment shows that with longer sintering and annealing times consequently shifted the transition phase range from ferroelectric to paraelectric to the high temperatures. There are no significant value of both resistance and capacitance of the sintering or annealing times of the samples measurements, however resistance decreases two orders at increasing temperature measurements. The activation energy at temperature range 325°C to 425°C of the experiment is 0.52 eV.
"
Depok: Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam Universitas Indonesia, 2012
T30467
UI - Tesis Open  Universitas Indonesia Library
cover
Ngia Masta
"Double perovskite Sr2FeTiO6 disintesis menggunakan metode sol-gel. Analisis dekomposisi massa terhadap termal melalui kurva TGA/DTA menunjukkan proses pembentukan kristal melalui empat tahapan, yaitu dehidrasi , dekomposisi senyawa nitrat 400 39;C dan 600 39;C , dan kristalisasi . Sifat struktur Sr2FeTiO6 dipelajari menggunakan XRD, SEM-EDS, dan XRF. Struktur material Sr2FeTiO6 adalah single phase kubik, space group PM-3M, parameter kisi 3,899A dan ukuran kristalit adalah 30,3 nm . SEM menunjukkan ukuran grain yang heterogen yang telah terseparasi dengan baik. EDS-SEM menunjukkan tidak ada kemunculan fase pengotor. Analisis elemen material Sr2FeTiO6 melalui XRF menunjukkan elemen dengan rasio atom yang sesuai dengan formula senyawa . Kurva DSC menunjukkan tidak terjadi transisi fase pada temperatur . Karakterisasi listrik material Sr2FeTiO6 sebagai fungsi temperatur, diuji menggunakan metode Impedance Spectroscopy IS dengan mengunakan RLCmeter pada frekuensi Keseluruhan sifat listrik impedansi, dielektrik, konduktivitas, dan modulus elektrik menunjukkan terjadinya perubahan sifat listrik antara temperatur dan . Pada temperatur perubahan konduktivitas terjadi secara signifikan pada grain boundary, dengan energi aktivasi sebesar 0,7 eV. Nilai ini menunjukkan aktivasi oksigen pada bidang planar . Keberadaan muatan ruang dan mobilisasi ion menunjukkan terjadinya mixed ionic-electronic conductivity pada material ini. Aktivasi ion oksigen menyebabkan peningkatan signifikan pada sifat dielektrik dan konduktivitas listrik.

Double perovskite Sr2FeTiO6 were prepared by sol ndash gel method. Thermal decompotition through TGA DTA occurs for step of crystallization, which is dehidration 200 39 C , nytrate decomposition 400 39 C and 600 39 C , and crystalization 900 39 C . The structural features have been studied using XRD, SEM EDS and XRF. The structure is single phase cubic, space group pm 3m, lattice parameter 3,899 A and crystallite size is 30,3 nm. SEM micrograph show well separate heterogenous grain size. EDS SEM occurs the absence of impurities. Elemental analisys through XRF show the elemental composition is suitable with atomic ratio of Sr2FeTiO6. DSC curve show the absence of phase transition at 303K 523K.The electrical properties were examined as functions of temperature 293K 523K and frequency 100 Hz ndash 1 MHz , by Impedance Spectroscopy method using RLCmeter. All electrical properties impedance, dielectric, conductivity, and electrical modulus appeared the variance of electrical mechanism at temperature range and . At 398K 423, the dc conductivity increased significanty at grain boundary, with the activation energy evaluated as 0,7eV. This value show the oxygen activation at a b planar plane. The space charge presence and mobilitated oxygen ion pointed the mixed ionic electronic conductivity properties. Oxygen activation caused the significantly increment of dielectric properties and electrical conductivity."
Depok: Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam Universitas Indonesia, 2017
T49709
UI - Tesis Membership  Universitas Indonesia Library
cover
M Akib Khu
"Analisis spektrokimia pada sampel besar seperti plat logam telah dilakukan dengan menggunakan sebuah ruang oakum kecil yang terhubung secara langsung dengan permukaan sampel melalui cincin berbentuk O. Teknik ini menghasilkan plasma yang dapat digunakan untuk analisis in-situ, sehingga prosedur penyiapan sampel yang relatif kurang praktis dapat diatasi. Di samping itu, dengan adanya cincin O yang menempel pada sampel, secara effektif menghalangi emisi kontinu yang tidak diinginkan dari plasma primer, sehingga meningkatkan sensitifitas deteksi dari teknik ini. Selanjutnya dalam eksperimen ini spektrum yang didapatkan dengan menggunakan sistem OMA tanpa fungsi gating masih menunjukkan sinyal latar belakang yang lebih rendah daripada yang didapatkan dengan metode LIBS (Laser induced Breakdown Spectroscopy).
"
2000
T3684
UI - Tesis Membership  Universitas Indonesia Library
cover
Lusitra Munisa
"Lapisan tipis amorf silikon karbon terhidrogenasi telah dibuat dengan metode depasisi DCRMS (dc magnetron sputtering). Spektrum inframerah lapisan tipis amorf silikon karbon yang dihasilkan pada penelitian ini memiliki tiga daerah absorpsi yang terletak di sekitar 600-900 cm2, 1900-2200 cm2 dan 2800-3000 cm2. Mode-mode vibrasi struktur ikatan yang terdapat pada lapisan tipis meliputi mode vibrasi wagging Si-H di sekitar 640 cm-1; doublet mode vibrasi bending Si-H2 di sekitar 850 dan 890 cm-1; doublet mode vibrasi stretching Si-H di sekitar 2000 dan 2100 cm'1; mode vibrasi stretching Si-C di sekitar 720 dan 780 cm-1; mode vibrasi stretching C-H di sekitar 2800 cm-1. Peningkatan flowrate gas metan menggeser posisi mode-mode vibrasi ke bilangan gelombang yang lebih tinggi dan meningkatkan integral absorpsi dari mode-mode vibrasi tersebut. Pengaruh peningkatan flowrate gas metan terhadap mode vibrasi di sekitar 2000 dan 2100 cm./ menyebabkan terjadinya transisi dari 2000 ke 2100 cm-1 yang disebabkan oleh peningkatan hidrogen bukan karena peningkatan konsentrasi karbon.
Hasil evolusi dan implantasi hidrogen menunjukkan kehadiran void di dalam lapisan tipis. Kuat absorpsi mode vibrasi stretching dan wagging Si-H tidak bergantung pada flowrate gas metan. Harga kuat absorpsi mode vibrasi stretching Si-H di sekitar 2000 dan 2100 cm.' tidak jauh berbeda. Mode vibrasi di sekitar 720 dan 780 cm'1 diperkirakan merupakan hasil kopling mode vibrasi wagging Si-H dan mode vibrasi stretching Si-C. Mode vibrasi di sekitar 720 cm-1 merupakan mode vibrasi stretching Si-C yang melibatkan hidrogen sedangkan mode vibrasi di sekitar 780 cm"' tanpa hidrogen. Kedua mode vibrasi ini mewakili mode vibrasi stretching Si-C bukan hanya salah satu dari keduanya. Struktur ikatan silikon dengan karbon dominan berada dalam gugus H-Si-C pada flowrate gas metan rendah. Atom hidrogen pada lapisan tipis hanya berikatan dengan satu atom karbon saja. Atom hidrogen cenderung berikatan dengan atom silikon dibandingkan dengan atom karbon. Selain peningkatan konsentrasi karbon, peningkatan hidrogen juga berpengaruh terhadap berkurangnya indeks bias rill dan peningkatan gap optis. Struktur ikatan hidrogen yang berpengaruh terhadap berkurangnya indeks bias dan bertambahnya gap optis adalah struktur ikatan hidrogen di void.

Infrared Spectroscopy and Optical Properties of Amorphous Silicon Carbon Films (a-Six_x C1:H) Produced by DC Magnetron Sputtering MethodsHydrogenated Amorphous Silicon Carbon films were prepared by dc reactive magnetron sputtering (DCRMS) methods. The infrared spectra have three absorption regions at 600-900 cm 1, 1900-2200 cm-1 and 2800-3000 cm-1. These three features shift to higher wavenumber for the methane flowrate increased. The absorption band near 640 cm-1 is assigned to the wagging band of Si-H SiH2 bonds have a bending outlet at 850 and 890 cm-1, the stretching doublet modes of Si-H are around 2000 and 2100 cm-1, the stretching modes of Si-C are near 720 and 780 cm -l and the absorption around 2800 cm-1 is attributed to the C-H stretching mode. The integrated absorption of these modes increases with the methane flowrate. The transition from 2000 to 2100 cm 1 is due to an increasing hydrogen content not carbon concentration.
The hydrogen evolution and implantation support the void formation on films. The absorption strength of Si-H stretching and wagging absorption is found to be independent of the methane flowrate. The two Si-H stretching modes around 2000 and 2100 cm'1 have almost the same absorption strength values. The vibrational modes near 720 and 780 cm -1 are presumably as the result of coupling of the Si-C stretching mode with the Si-H wagging mode. The 720 and 780 cm'1 absorption presumably related to H-Si-C groups and unhydrogenated Si-C, respectively. Both 720 and 780 cm-1 absorptions is related to Si-C vibrations. Al low methane flowrate, silicon-carbon bonding structure predominantly in H-Si-C groups. Hydrogen atom is predominantly bound to silicon not to carbon. Roughly one hydrogen atom is incorporated for one carbon atom. The decreasing of the real refractive index and the increasing of the optical gap are not due to carbon concentration alone but also hydrogen concentration. The Si-H bonds covering the inner surfaces of voids have a contribution to decreasing the real refractive index and increasing the optical gap."
Depok: Universitas Indonesia, 1999
T-Pdf
UI - Tesis Membership  Universitas Indonesia Library
<<   1 2 3 4 5 6 7 8 9 10   >>