Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
Deandra Niluh Sasadhara, author
Dalam penelitian ini telah dilakukan pembuatan film tipis dengan substrat Alumina dan lapisan film tipis Zn dengan metode Physical Vapour Deposition (PVD) dan eksitasi elektron atom Zn. Sampel Alumina dievaporasi dalam metode PVD dan dideposisi dengan lapisan film tipis Zn. Sebelumnya Zn diatomasi yaitu dengan melakukan eksitasi elektronik sehingga diharapkan...
Depok: Fakultas Teknik Universitas Indonesia, 2012
S42311
UI - Skripsi (Open) Universitas Indonesia Library
