Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
Sandi Tannu Wijaya, author
ABSTRAK
MEMS Variable capacitor telah banyak digunakan pada teknologi sekarang ini.
Telah banyak jenis dan modifikasi yang dibuat untuk memaksimalkan nilai yang
didapat atau untuk mendapatkan berbagai hasil, kegunaan, dan lain-lain. MEMS
Variable capacitor empat tiang dengan Comb-drive Actuators ini dirancang
dengan menggunakan sebuah pelat stastis kemudian sebuah pelat bergerak pada
bagian atas dan ditopang empat...
Fakultas Teknik Universitas Indonesia, 2012
S42862
UI - Skripsi (Open) Universitas Indonesia Library
