Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
Wangi Pandan Sari, author
MEMS (micro-electromechanical systems) merupakan perangkat terintegrasi elektro-mekanik yang teknologinya telah diterapkan untuk berbagai aplikasi, salah satunya untuk fabrikasi mikrosensor seperti akselerometer, mikrosensor penginderaaan aliran, penginderaan tekanan, dan penginderaan massa. Dalam implementasi MEMS, terdapat beberapa pendekatan dan struktur yang dapat digunakan. Penelitian ini melakukan perancangan sensor massa resonator MEMS dengan menggunakan...
Yogyakarta: Pusat Penelitian dan Pengabdian Pada Masyarakat (P3M) STTA, 2021
620 JIA XIII:2 (2021)
Artikel Jurnal Universitas Indonesia Library
