Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
Yofentina Iriani, author
ABSTRAK
Penumbuhan lapisan tipis Barium Strontium Titanat (Ba1-xSrxTiO3) dengan berbagai doping telah berhasil dilakukan di atas substrat Pt/Si menggunakan metode Chemical Solution Deposition yang disiapkan dengan spin coating. Ada tiga tahap penting dalam pembuatan lapisan tipis dengan metode ini yaitu pembuatan Iarutan, proses spin coating, dan proses annealing. Optimalisasi parameter-parameter yang...
Depok:
2009
D1227
UI - Disertasi Open Universitas Indonesia Library