Hasil Pencarian  ::  Kembali

Hasil Pencarian

Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
cover
Moto, Keba, author
Pembuatan paduan (Ti1-xAlx)N dengan teknik plasma CVD dari bubuk AlCl3, gas N2 dan H2, serta larutan TiCl4
Substitusi Atom Ti dengan Al dalam kristal TiN untuk membentuk paduan (Ti1-xAlx)N sangat jelas diperagakan dari lapisan tipis yang dideposisi di atas substrat stainless steel dengan menggunakan teknik plasma CVD. Adanya atom Al dalam kristal TiN ditunjukkan dengan XRD dan EDX: penurunan konstanta kisi TiN sesuai dengan kenaikan fraksi Al...
Depok: Lembaga Penelitian Universitas Indonesia, 2002
AJ-Pdf
Artikel Jurnal  Universitas Indonesia Library