Ditemukan 3 dokumen yang sesuai dengan query
Yunita Sari, author
Penelitian ini bertujuan menghasilkan pelapisan titanium nitrida (TiN) pada perkakas potong, dalam hal ini ditujukan untuk aplikasi mekanik, yaitu memperbaiki sifat tribology dengan memperkuat ketahanan aus permukaan melalui peningkatan kekerasan dan menurunkan koefisien friksi. Dibandingkan dengan metode lain, pelapisan dengan proses PVD khususnya dengan teknik sputtering memiliki keunggulan, antara lain...
Depok: Fakultas Teknik Universitas Indonesia, 2002
T8175
UI - Tesis Membership Universitas Indonesia Library
Cuk Imawan, author
ABSTRAK
Pada eksperimen ini telah dibuat film TiN dengan metode sputering magnetron reaktif pada temperatur substrat 325°C, 230°C , dan 125°C. Hasil pengukuran XRD menunjukkan bahwa film-film dengan fasa δ-TiN dapat diperoleh dengan proses deposisi pada daerah laju alir nitrogen yang cukup lebar (15,1 ml/min - 16,6 ml/min), tanpa dipengaruhi oleh...
1995
T-Pdf
UI - Tesis Membership Universitas Indonesia Library
Satya Heragandhi, author
Depok: Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam Universitas Indonesia, 1993
S27938
UI - Skripsi Membership Universitas Indonesia Library
