Hasil Pencarian  ::  Simpan CSV :: Kembali

Hasil Pencarian

Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
cover
Ignatia Averina Chita Nirmala, author
Pengembangan photolithography tanpa mask dengan teknologi digital micro mirror device (DMD) dan sumber cahaya hibrida = Developing maskless photolithography process with digital micro mirror device (DMD) technology and hybrid lighting
ABSTRAK
Maskless photolithography menggunakan proyektor DLP merupakan proses yang mudah dan sederhana, namun durasi pemaparan jika hanya menggunakan cahaya tampak memakan waktu cukup lama. Inovasi yang diajukan adalah pencahayaan hibrida antara sinar tampak dan sinar UV, dengan tujuan mempersingkat durasi pemaparan. Dalam penelitian ini akan dibahas tentang pengaruh pemaparan secara hibrida, yaitu penambahan cahaya UV pada...
2019
S-Pdf
UI - Skripsi Membership  Universitas Indonesia Library