Ditemukan 2 dokumen yang sesuai dengan query
Jamal A. Rachman
"
SiO2 merupakan lapisan yang sensitif dan aktif dalam komponen-konponen semikonduktor. Dalam proses oksidasi pembuatan komponen KOSFET, dapat terjadi pencemaran lapisan isolator ini karena kontaminasi. Pencemaran menyebabkan terjadinya ion-bergerak di dalam lapisan oksida, sehingga mengganggu kestabilan sifat listrik. Dengan menggunakan Trichloroethylene (TCE) sebagai ambient pada proses oksidasi, diharapkan jumlah ion-bergerak dapat ditekan dan terjadi efek pasivasi (passivatioti ability). Untuk melihat pengaruh Trichloroethylene, dilakukan proses biasa dan proses menggunakan TCE dengan variasi laju arus. Untuk mendapatkan informasi ...
"
Depok: Universitas Indonesia, 1989
T-Pdf
UI - Tesis Membership Universitas Indonesia Library
"
This study develops, evaluates, and optimizes the potential of a novel "counter-diffusional?
membrane biofilm reactor to biologically treat and remove trichloroethylene (TCE) from contaminated
soil and groundwater caused by industrial activities (industrial solvent). The objectives of the research
are to investigate and evaluate design and operational factors reflecting the sustainability and
degradation rates of TCE transformation in a counter-diffusional membrane-attached methanotrophic
biofilm reactor system
As a first step attaining this objective, an overall mass transfer coeficient of the bioreactor was
developed a ...
"
Jurnal Teknologi ; Vol. 19 (3) September 2005 : 267-277, 2005
JUTE-19-4-Des2005-267
Artikel Jurnal Universitas Indonesia Library
