Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
Telah dibuat suatu alat ukur untuk menetukan konstanta dielektrik lapisan
tipis dengan metode arus konstan. Alat itu, dicoba untuk mengukur lima sampel
yaitu substrat corning dideposisi lapisan tipis dengan teknik spin coating dari
PIZT 8%, PVZT 8%, PNT8%, dan PGZT 8%. Hasil yang diperoleh dari
pengukuran mengalami problem sehingga tidak sesuai dengan hasil yang
diharapkan....
[Universitas Indonesia, ], 2006
S29147
UI - Skripsi Membership Universitas Indonesia Library