Hasil Pencarian  ::  Kembali

Hasil Pencarian

Ditemukan 3 dokumen yang sesuai dengan query
cover
Studi spektroskopi ellipsometri lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) yang dihasilkan dengan metode deposisi DC sputtering
Artikel Jurnal  Universitas Indonesia Library
cover
Jan Ady, author
Penentuan fungsi dielektrik kompleks dari hasil pengukuran spektroskopi ellipsometer untuk lapisan tipis amorf silikon karbon hasil deposisi sputtering
Fungsi dieiektrik kompleks lapisan tipis amorfsilikon karbon (a-Sii.xCx:H) hasit deposisi sputtering telah ditentukan dengan menggunakan hasil pengukuran spektroskopi ellipsometer. Besaran optis lapisan tipis a-Si/.,Cx:H diperoleh dengan prosedur MSE terhadap tan i// dan cos A hasil eksperimen dengan tan y/ dan cos A model matematis sistem lapisan tipis. Mode! sistem tiga...
Program Pascasarjana Universitas Indonesia, 2000
T535
UI - Tesis (Membership)  Universitas Indonesia Library
cover
Wawas Swathatafrijiah, author
Pembuatan dan karakterisasi lapisan tipis alumina pada substrat alumunium alloy
Lapisan tipis Keramik Alumina pada substrat Aluminium Alloy dibuat dengan metoda pelapisan Sputtering RF Magnetron. Pelapisan dilakukan pada tekanan dasar sistem 1.7 - 3.3 x 10-5 torr dan tekanan gas Argon saat pelapisan berlangsung dipertahankan sekitar 15 mtorr. Komposisi Atomik Substrat sebelum pelapisan diuji dengan SEM/EDAX hasilnya adalah 69 %...
Depok: Universitas Indonesia, 1997
T-Pdf
UI - Tesis (Membership)  Universitas Indonesia Library