Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
Wawas Swathatafrijiah, author
Lapisan tipis Keramik Alumina pada substrat Aluminium Alloy dibuat dengan metoda pelapisan Sputtering RF Magnetron. Pelapisan dilakukan pada tekanan dasar sistem 1.7 - 3.3 x 10-5 torr dan tekanan gas Argon saat pelapisan berlangsung dipertahankan sekitar 15 mtorr. Komposisi Atomik Substrat sebelum pelapisan diuji dengan SEM/EDAX hasilnya adalah 69 %...
Depok: Universitas Indonesia, 1997
T-Pdf
UI - Tesis (Membership) Universitas Indonesia Library
