Hasil Pencarian  ::  Simpan CSV :: Kembali

Hasil Pencarian

Ditemukan 2 dokumen yang sesuai dengan query
cover
Lusitra Munisa, author
Pengaruh peningkatan flow rate gas metan terhadap sifat optis laipsan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi metode DC sputtering
Depok: Makara Seri Sains, 2002
AJ-Pdf
Artikel Jurnal  Universitas Indonesia Library
cover
Lusitra Munisa, author
Pengaruh peningkatan flow gas metan terhadap sifat optis lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi metode DC sputtering
Indeks bias (n) dan koefi sien absorpsi optis (α) lapisan tipis amorf silikon karbon terhidrogenasi (a-SiC:H) telah diteliti dari hasil pengukuran refl eksi dan transmisi. Lapisan tipis a-SiC:H dihasilkan dengan metode deposisi dc sputtering menggunakan target silikon dalam campuran gas argon dan metan. Indeks bias (n) berkurang dengan peningkatan fl...
Depok: Lembaga Penelitian Universitas Indonesia, 2002
AJ-Pdf
Artikel Jurnal  Universitas Indonesia Library