Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
Jan Ady, author
Fungsi dieiektrik kompleks lapisan tipis amorfsilikon karbon (a-Sii.xCx:H) hasit deposisi sputtering telah ditentukan dengan menggunakan hasil pengukuran spektroskopi ellipsometer. Besaran optis lapisan tipis a-Si/.,Cx:H diperoleh dengan prosedur MSE terhadap tan i// dan cos A hasil eksperimen dengan tan y/ dan cos A model matematis sistem lapisan tipis. Mode! sistem tiga...
Program Pascasarjana Universitas Indonesia, 2000
T535
UI - Tesis Membership Universitas Indonesia Library