Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
Hendriyanto Haditjahyono, author
ABSTRAK
Penelitian ini bertujuan untuk mengoptimalkan performance dari peralatan yang digunakan dalam pembuatan lapisan tipis (film), yang meliputi catu daya evaporator, pengukur tekanan, pengukur temperatur dan pengukur tebal lapisan tipis, agar dapat bekerja secara terintegrasi dan terkendali.
Beberapa hal yang dilakukan dalam penelitian ini adalah mendisain dan membuat rangkaian pengendali temperatur, memperbaiki...
1999
T-Pdf
UI - Tesis (Membership) Universitas Indonesia Library
