Full Description
| Cataloguing Source | |
| Content Type | |
| Media Type | |
| Carrier Type | |
| Physical Description | xi, 42 hlm. : ill. ; 28 cm + lamp |
| Concise Text | |
| Holding Institution | Universitas Indonesia |
| Location | Perpustakaan UI, Lantai 3 |
- Availability
- Digital Files: 0
- Review
- Cover
- Abstract
| Call Number | Barcode Number | Availability |
|---|---|---|
| S28905 | TERSEDIA |
| No review available for this collection: 20178039 |
Abstract
Abstrak Mikrostruktur lapisan tipis amorf silikon karbon terhidrogenasi (a-Sich) telah dianalisis dengan menggunkan pendekatan medium efektif (PME) Bruggemann. Lapisan tipis dihasilakan dengan metode deposisi dc magnetron sputtering menggunakan dua jenis target : silikon dan grafit. Mikrosstruktur lapisan tipis ini dimodelkan terdiri atas tiga komponen: amorf tetrahedral (a-SicCH), amorf grafitik (a-C), dan microvoid. Untuk memperoleh respon optis komponen amor ...