Analisis Mikrostruktur Lapisan Tipis Amorf Silikon Karbon Terhidrogenasi (a-SiCH) Menggunakan Pendekatan Medium Efektif Bruggemann
(Universitas Indonesia, 2007)
|
| Abstrak Mikrostruktur lapisan tipis amorf silikon karbon terhidrogenasi (a-Sich) telah dianalisis dengan menggunkan pendekatan medium efektif (PME) Bruggemann. Lapisan tipis dihasilakan dengan metode deposisi dc magnetron sputtering menggunakan dua jenis target : silikon dan grafit. Mikrosstruktur lapisan tipis ini dimodelkan terdiri atas tiga komponen: amorf tetrahedral (a-SicCH), amorf grafitik (a-C), dan microvoid. Untuk memperoleh respon optis komponen amor ... |
| No. Panggil : | S28905 |
| Subjek : | |
| Penerbitan : | [Place of publication not identified]: Universitas Indonesia, 2007 |
| Program Studi : |
| Bahasa : | ind |
| Sumber Pengatalogan : | |
| Tipe Konten : | |
| Tipe Media : | |
| Tipe Carrier : | |
| Deskripsi Fisik : | xi, 42 hlm. : ill. ; 28 cm + lamp |
| Naskah Ringkas : | |
| Lembaga Pemilik : | Universitas Indonesia |
| Lokasi : | Perpustakaan UI, Lantai 3 |
| No. Panggil | No. Barkod | Ketersediaan |
|---|---|---|
| S28905 | TERSEDIA |
| Ulasan: |
| Tidak ada ulasan pada koleksi ini: 20178039 |
