Abstrak
Telah dibuat suatu alat ukur untuk menetukan konstanta dielektrik lapisan
tipis dengan metode arus konstan. Alat itu, dicoba untuk mengukur lima sampel
yaitu substrat corning dideposisi lapisan tipis dengan teknik spin coating dari
PIZT 8%, PVZT 8%, PNT8%, dan PGZT 8%. Hasil yang diperoleh dari
pengukuran mengalami problem sehingga tidak sesuai dengan hasil yang
diharapkan. Oleh karena itu penghitungan konstanta dielektrik dilakukan dengan
menggunakan bantuan RCL meter tipe Fluke PM6306. Hasil penghitungan
konstanta memakai alat yang dibuat yang diprogram dengan Labview diperoleh
Hasil penghitungan konstanta masing-masing sampel tersebut adalah dengan
program Labview diperoleh K substrat corning = 3,33; K PIZT 8% = 9,97; K PVZT 8% =
19,88; K PNZT 8% = 11,60 dan K PGZT 8% = 8,06. Dibandingkan dengan hasil
pengukuran memakai RCL meter Fluke PM 6306 diperoleh K substrat corning = 2,061;
K PIZT 8% = 20,178; K PVZT 8% = 22,923; K PNZT 8% = 22,211 dan K PGZT 8% = 20,062.
Hal ini menunjukkan ada perbedaan yang berarti. Untuk itu perlu dilakukan
penelitian yang lebih lanjut.
