Perancangan sensor tekanan berdiafragma rektagular silikon dengan elemen pengindera strain gauge kapasitif uniplanar dari bahan aluminium
Tedy Ramadanus;
Djoko Hartanto, supervisor
(Fakultas Teknik Universitas Indonesia, 1996)
|
| Pada Skripsi ini akan dibahas mengenai Perancangan Sensor Tekanan yang menggunakan Mugma rektangular dengan bahan substrat Silikon dan strain gauge kapasitif uniplanar dengan elektroda yang terbuat dari Aluminium dengan dielektrik dari udara Sensor ini bekerja atas dasar prinsip mekanis dan prinsip kapasitif. Prinsip mekanis dipakai dalam menghitung pengaruh tekanan terhadap efek perubahan defleksi diafragma rektangular. Prinsip kapasitif dipakai dalam menghitung efek perubahan panjang elektroda uniplana terhadap pernbahari kapasitansi. Sensor ini dapat difabrikasi dengan teknologi thin film IC. Menurut Heerens [1], unjuk keda sensor ini lebih balk dibandingkan dengan sensor strain gauge resistif atau strain gauge semikonduktor biasa. Dari basil simulasi dengan perangkat lunak MathCAD didapat kapasitansi sensor sebesar 1,0471 pF pada keadaan tanpa tekanan yang meningkat menjadi 1,0487 pF pada seat tekanan maksimum (1000 Pa), faktor gauge sensor sama dengan sate, dan sensisitivitas sensor sebesar 0,001398 pF.pF-1.kPa 1. |
 S38907-Tedy Ramadanus.pdf :: Unduh
|
| No. Panggil : | S38907 |
| Entri utama-Nama orang : | |
| Entri tambahan-Nama orang : | |
| Subjek : | |
| Penerbitan : | Depok: Fakultas Teknik Universitas Indonesia, 1996 |
| Program Studi : |
| Bahasa : | ind |
| Sumber Pengatalogan : | |
| Tipe Konten : | text |
| Tipe Media : | unmediated ; computer |
| Tipe Carrier : | volume ; online resource |
| Deskripsi Fisik : | xii, 36 pages : illustration ; 28 cm + appendix |
| Naskah Ringkas : | |
| Lembaga Pemilik : | Universitas Indonesia |
| Lokasi : | Perpustakaan UI, Lantai 3 |
| No. Panggil | No. Barkod | Ketersediaan |
|---|---|---|
| S38907 | 14-19-606123022 | TERSEDIA |
| Ulasan: |
| Tidak ada ulasan pada koleksi ini: 20243533 |
