Abstract
Dalani suatu industri scmikonduktor, Clean Room memiliki pcranan yang sangat penting. Tingkat kebersihan udara yang dihasilkan dill am ruangan produksitersebut mempengaruhi terlmdap keberhasilan produk scmikonduktor tersebut. Udara yang tcrkontmninasi oleh pmtikel-partikcl dan deb1.1 mengbasilkan produk yang gagal, sebaliknya 1.1dara yang bersih ukan menjadi salah satu faktor yang menjamin tingkat kcberhasitan produk tersebut.
Ada beberapa hal yang haru!: dlkontrol di dalam sumu Clean Room Class 10.000, di antaranya :
1. Jumlah partikel di dalam Clean Room yang diperbolehkan tidak lebih dari t 0.000 partikel per fr'.
2. Temperatur udam di dahm1 ruangan dikondisikan pada suhu (23 ± 2)uC.
3. Kelcmbabanl'datif(Rf-l) rmmgan dikondisikan pad:.. (55± 5){)/o.
Untuk dapat mcn,iaga agar jmnlah partikel udara yang disuplai ke dalam ruangan yang digunakan untuk proses produksi. maku pcnggunaan HEPA (High Efliu.:iency Particulate 11ir) filtcl' sung_at dibutuhkan. Sedangkan untuk dapat menjaga kondisi udara di dalam ruangan produksi terseblll pada kondisi temperamr (23 ± 1)"C dan kclcmbabnn (55 ± 5)'Ye, maka...
