ABSTRAK
Kaca konduktor memiliki fungsi strategis di berbagai aplikasi elektronik. Jenisyang menjanjikan adalah Fluorine-doped Tin Oxide (FTO). Dalam penelitian inidilakukan studi pengaruh waktu deposisi (5, 10, 20, 30, dan 40 menit) lapisan tipisFTO dengan metode spray pyrolysis menggunakan alat ultrasonic nebulizer yangtelah dimodifikasi terhadap nilai karakteristik lapisannya ditinjau dari sifat optis,kristalinitas, resistivitas, dan mikrostruktur. Variasi juga dilakukan denganmembandingkan prekursor Sn murni dan larutan yang telah didoping dengan Fsebanyak 2%wt untuk melihat pengaruh penambahan doping F pada larutanprekursor. Pengujian karakteristik lapisan dilakukan menggunakan XRD, SEM,UV-Vis spectroscopy, dan digital multimeter. Berdasarkan karakterisasi yangdilakukan diperoleh nilai terbaik untuk FTO yang dihasilkan adalah pada waktudeposisi 20 menit dengan nilai transmitansi 74%, energi band gap (Eg) 3,85 eV,dan sheet resistance (Rs) 7,99 Ω/sq.
ABSTRACT
Conductive glass has strategic functions in various electronic applications. Oneof the lead is Fluorine-doped Tin Oxide (FTO). In this research, the effects ofdeposition time (5,10,20,30, and 40 minutes) for fabrication of FTO thin film uponspray pyrolysis process using modified ultrasonic nebulizer on its characteristicin terms of optical, crystalinity, resistivity and microstructure properties has beenstudied. Variation was also performed by comparing the pure Sn precursor andthe solution that has been doped with F 2%wt to see the doping effect toproperties of thin film. The thin film characterization were carried out using XRD,SEM, UV-Vis spectroscopy, and digital mutlimeter. Based on the results obtainedfor the best FTO was generated at the time of deposition is 20 minutes. Providing74% transmittance, band gap energy (Eg) 3.85 eV and sheet resistance (Rs) 7.99Ω/sq. |
S62876-Cahya Ahmad Trisdianto.pdf :: Unduh