Mikrokantilever mulai dilirik oleh para peneliti untuk diaplikasikan sebagai biosensor dalam dunia kesehatan, biologi,kimia dan lingkungan hidup. Mekanisme dan prinsip kerja mikrokantilever sensor ini terus digali untuk memperdalampengetahuan sistem sensor dan aplikasinya pada target obyek tertentu. Makalah ini memaparkan simulasi deteksimikrokantilever sensor berbasis persamaan Euler-Bernoulli dan perancangan sistem sensor berbasis piezoresistivemikrokantilever. Pada studi simulasi, perubahan frekuensi resonansi sebagai deteksi keberadaan obyek dihitung denganmenggunakan mikrokantilever yang mempunyai panjang 110 μm, lebar 50 μm, dan tebal 1 μm. Massa mikrokantileveradalah 12,815 nanogram (sudah termasuk massa receptor-nya). Target obyek yang dideteksi adalah bakteri, di manamassa untuk satu bakteri diasumsikan 0,3 pikogram. Saat terdeteksi, satu massa obyek bakteri menyebabkan nilaidefleksi sebesar 3,05355×10-11 m dan nilai frekuensi resonansi sebesar 118,90 kHz, sedangkan untuk empat obyekbakteri menyebabkan nilai defleksi sebesar 3,05445×10-11 m dan nilai frekuensi resonansi sebesar 118,68 kHz. Hasil inimenunjukkan bahwa bertambahnya massa bakteri akan menyebabkan naiknya nilai defleksi dan turunnya nilaifrekuensi resonansi. Hasil ujicoba sistem mikrokantilever sensor juga menunjukkan bahwa sistem bekerja normal dandapat digunakan untuk ujicoba terhadap target obyek tertentu. |