:: UI - Skripsi Membership :: Kembali

UI - Skripsi Membership :: Kembali

Analisis karakteristik proses fotolitografi dengan UV Led terhadap profil PDMS dengan menggunakan SU-8 photoresist = Characteristic analysis of uv led photolithography method with su-8 photoresist for pdms profile / Rayzi Rizqika

Rayzi Rizqika; Yudan Whulanza, supervisor; Ridho Irwansyah, examiner; Radon Dhelika, examiner ([Publisher not identified] , 2019)

 Abstrak

ABSTRAK
Pengembangan metode fotolitografi dengan metode UV LED telah berkembang secara
massif dalam satu dekade ini. Teknologi ini telah sangat dikenal untuk melakukan
pembuatan pola dari suatu photo-mask yang selanjutnya akan ditransfer ke sebuah
spesimen atau substrat dengan cara pencahayaan memakai sinar UV LED. Saat ini,
teknologi fotolitografi telah dikembangkan secara lebih masif lagi untuk melakukan
fabrikasi sebuah kanal mikro pada perangkat mikrofluidik. Untuk melakukan fabrikasi
yang optimal pada sebuah kanal mikro yang terwujud dari desain photo-mask, maka
parameter terbaik dibutuhkan untuk membuat kanal mikro yang sempurna. Pada bagian
akhir riset ini, kami mendefinisikan karakteristik performa fotolitografi untuk parameterparameter
yang telah ditetapkan.
ABSTRACT
The photolithography with UV LED has been greatly developed since the last decade.
This technology is widely known to create a pattern from a photo-mask to the substrate
with exposing the UV LED to the targeted specimen. In the recent years, this technology
has been massively used to create a pattern of micro-channel on microfluidic devices. In
order to fabricate such an optimum desired micro channel design from the mold or mask,
a finest parameter is demanded to create a faultless microfluidic channel. At the end of
the research, we define photolithography characteristics to perform for a predetermined
parameter.

 File Digital: 1

Shelf
 S-Rayzi Rizqika.pdf :: Unduh

LOGIN required

 Kata Kunci

 Metadata

No. Panggil : S-Pdf
Entri utama-Nama orang :
Entri tambahan-Nama orang :
Entri tambahan-Nama badan :
Subjek :
Penerbitan : [Place of publication not identified]: [Publisher not identified], 2019
Program Studi :
Bahasa : ind
Sumber Pengatalogan : LibUI ind rda
Tipe Konten : text
Tipe Media : computer
Tipe Carrier : online resource
Deskripsi Fisik : xii, 45 pages : illustration ; 28 cm + appendix
Naskah Ringkas :
Lembaga Pemilik : Universitas Indonesia
Lokasi : Perpustakaan UI, Lantai 3
  • Ketersediaan
  • Ulasan
No. Panggil No. Barkod Ketersediaan
S-Pdf 14-20-333519185 TERSEDIA
Ulasan:
Tidak ada ulasan pada koleksi ini: 20489432
 See also