Karakterisasi Fisis lapisan Tipis Bahan Gallium Antimoni (GaSb) Dengan Sistem Penumbuhan Evaporasi
Dondy A. Setyabudi;
A. Harsono Soepardjo, supervisor; Darmadi Kusno, examiner; Na, Peng Bo, examiner; Azwar Manaf, examiner; Muhammad Hikam, examiner
(Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam Universitas Indonesia, 1997)
|
| Penelitian ini bertujuan memperoleh informasi karakteristik lapisan tipis GaSb. Bahan yang digunakan adalah bagian ujung ingot GaSb. Penumbuhan lapisan tipis GaSb dilakukan secara evaporasi termal, sedangkan karakterisasi micro menggunakan diliaksi sinar-X dan four point probe. Hasil analisis lapisan tipis GaSb substrat kaca pada temperatur pemanasan substrat 150°C dan 200°C menunjukkan bahwa sistem kristal adalah kubus, struktur kristal kubus terpusat sisi (FCC) dengan konstanta kisi (a) berkisar antara 6,52 A - 6,58 A; dan 6,52 A - 6,53 A. Hasil analisis kelistrikan menunjukkan bahwa resistivitas (p) 4,225 - 5,385 X 104 Ώ cm, dengan tipe n; dan 1,105 X 10-4 0 cm dengan tipe p. Pada pernanasan substrat 200°C resistivitas (p) = 1,26 X Ώ cm dengan tipe n; 1,40 X 104 Ώ cm dengan tipe p dan 1,40 X 10--l Ώ cm dengan tipe n-p. Hasil analisis substrat corning pada temperatur pemanasan substrat 150°C dan 200°C menunjukkan bahwa sistem kristal adalah kubus, strukiur kristal kubus terpusat sisi (-FCC) dengan konstanta kisi a= 6,56 A; dan 6,24 A. |
 T8165-Dondy Anggono Setyabudi.pdf :: Unduh
|
| No. Panggil : | T8165 |
| Entri utama-Nama orang : | |
| Entri tambahan-Nama orang : | |
| Subjek : | |
| Penerbitan : | Depok: Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam Universitas Indonesia, 1997 |
| Program Studi : |
| Bahasa : | ind |
| Sumber Pengatalogan : | LibUI ind rda |
| Tipe Konten : | text |
| Tipe Media : | computer |
| Tipe Carrier : | online resource |
| Deskripsi Fisik : | x, 77 pages ; illustration : 30 cm + appendix |
| Naskah Ringkas : | |
| Lembaga Pemilik : | Universitas Indonesia |
| Lokasi : | Perpustakaan UI, Lantai 3 |
| No. Panggil | No. Barkod | Ketersediaan |
|---|---|---|
| T8165 | 15-18-720240298 | TERSEDIA |
| Ulasan: |
| Tidak ada ulasan pada koleksi ini: 78885 |
