:: UI - Tesis Membership :: Kembali

UI - Tesis Membership :: Kembali

Struktur mikro film titanium nitrida yang dibuat dengan magnetron sputering reaktif

Cuk Imawan; Rachmat Widodo Adi, supervisor; Parangtopo Sutokusumo, examiner; Darmadi Kusno, examiner; Dedi Sujanto, examiner; Aswar Manaf, examiner ([Publisher not identified] , 1995)

 Abstrak

ABSTRAK
Pada eksperimen ini telah dibuat film TiN dengan metode sputering magnetron reaktif pada temperatur substrat 325°C, 230°C , dan 125°C. Hasil pengukuran XRD menunjukkan bahwa film-film dengan fasa δ-TiN dapat diperoleh dengan proses deposisi pada daerah laju alir nitrogen yang cukup lebar (15,1 ml/min - 16,6 ml/min), tanpa dipengaruhi oleh temperatur substrat, jika dilakukan pengontrolan parameter proses secara tepat. Fasa a-Ti3N yang tidak diperoleh pada film-film hasil deposisi disebabkan karena selama proses deposisi dipergunakan temperatur substrat yang rendah. Telah diamati juga terjadinya kompetisi pengaruh antara temperatur substrat dan laju alir nitrogen pada strukturmikro film TiN hasil deposisi. Dari analisis pelebaran garis dan konstanta kisi menunjukkan terjadinya strainmikro dan distorsi kisi pada film. Pada film yang dideposisi di atas substrat kaca, strain dan distorsi yang terjadi disebabkan oleh sumbangan struktural, sedangkan film di atas substrat stainless steel mengalami strain dan distorsi yang disebabkan oleh adanya sumbangan termal. Strain dan distorsi yang terjadi pada film teramati tak isotropik, hal ini menunjukkan adanya perbedaan strain pada tiap-tiap orientasi kristal. Peristiwa takisotropik ini dapat diterangkan dengan mempergunakan model distorsi dari Valvolda dick.

 File Digital: 1

Shelf
 T3266-Cuk Imawan.pdf :: Unduh

LOGIN required

 Metadata

No. Panggil : T-Pdf
Entri utama-Nama orang :
Entri tambahan-Nama orang :
Entri tambahan-Nama badan :
Subjek :
Penerbitan : [Place of publication not identified]: [Publisher not identified], 1995
Program Studi :
Bahasa : ind
Sumber Pengatalogan : LibUI ind rda
Tipe Konten : text
Tipe Media : computer
Tipe Carrier : online resource
Deskripsi Fisik : iv, 72 pages : illustration ; 28 cm + appendix
Naskah Ringkas :
Lembaga Pemilik : Universitas Indonesia
Lokasi : Perpustakaan UI, Lantai 3
  • Ketersediaan
  • Ulasan
No. Panggil No. Barkod Ketersediaan
T-Pdf TERSEDIA
Ulasan:
Tidak ada ulasan pada koleksi ini: 80775