Desain sensor massa resonator mems menggunakan struktur free-free beam
Wangi Pandan Sari;
(Pusat Penelitian dan Pengabdian Pada Masyarakat (P3M) STTA, 2021)
|
| MEMS (micro-electromechanical systems) merupakan perangkat terintegrasi elektro-mekanik yang teknologinya telah diterapkan untuk berbagai aplikasi, salah satunya untuk fabrikasi mikrosensor seperti akselerometer, mikrosensor penginderaaan aliran, penginderaan tekanan, dan penginderaan massa. Dalam implementasi MEMS, terdapat beberapa pendekatan dan struktur yang dapat digunakan. Penelitian ini melakukan perancangan sensor massa resonator MEMS dengan menggunakan pendekatan resonator mekanik dengan struktur free-free beam yang diaktuasi secara elektrostatik. Desain yang dirancang diharapkan dapat menghasilkan sensor massa dengan performa yang tinggi |
| No. Panggil : | 620 JIA XIII:2 (2021) |
| Entri utama-Nama orang : | |
| Subjek : | |
| Penerbitan : | Yogyakarta: Pusat Penelitian dan Pengabdian Pada Masyarakat (P3M) STTA, 2021 |
| Sumber Pengatalogan : | LibUI ind rda |
| ISSN : | 20859503 |
| Majalah/Jurnal : | Jurnal Ilmiah Bidang Teknologi Angkasa |
| Volume : | Vol. XIII, No. 2, November 2021: Hal. 135-142 |
| Tipe Konten : | text |
| Tipe Media : | unmediated |
| Tipe Carrier : | volume |
| Akses Elektronik : | http://dx.doi.org/10.28989/angkasa.v13i2.1083 |
| Institusi Pemilik : | Universitas Indonesia |
| Lokasi : | Perpustakaan UI, Lantai 4 R. Koleksi Jurnal |
| No. Panggil | No. Barkod | Ketersediaan |
|---|---|---|
| 620 JIA XIII:2 (2021) | 08-24-74556733 | TERSEDIA |
| Ulasan: |
| Tidak ada ulasan pada koleksi ini: 9999920537196 |
