Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
Dedi Suwandi, author
Teknologi microstructur seperti proses lithography masih menjadi pekerjaan yang mahal dan susah dilakukan. Modifikasi metode dilakukan seperti mengganti light source dari UV light atau X-ray dengan visible light dan tanpa cetakan (maskless) kemudian mengganti proses removal material yang umumnya menggunakan echant diganti dengan proses biomachining untuk lebih menghemat energi dan...
Depok: Fakultas Teknik Universitas Indonesia, 2013
T35235
UI - Tesis Membership Universitas Indonesia Library
