Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
Delffika Canra, author
Mahalnya harga sebuah UV-photolithography aligner di pasaran menjadi sebuah alasan untuk merancang dan mengkarakterisasi UV-photolithography aligner berbiaya murah. Proses photolithography yang sederhana tapi perlu ketelatenan, memungkinkan untuk memodifikasi photolithography aligner dengan cara menggunakan komponen-komponen komersial dan tentu saja harganya murah. Tujuan penelitian ini adalah menganalisa kemampuan produk komersial dalam proses...
Depok: Fakultas Teknik Universitas Indonesia, 2013
T35236
UI - Tesis (Membership) Universitas Indonesia Library
