Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
Mochtar Chandra, author
Kebutuhan dan permintaan yang tinggi akan proses fabrikasi dalam skala mikro atau nano dibidang peralatan medis, elektronik maupun telekomunikasi mendorong proses fabrikasi murah sekarang banyak dikembangkan. Peneliti dan perusahaan berlomba-lomba mengembangkan proses-proses baru atau memperbaruhi proses-proses lama seperti photolithography atau lithography. Salah satu cara membuat produksi murah adalah memproduksi alat-alat...
Depok: Fakultas Teknik Universitas Indonesia, 2013
S54239
UI - Skripsi Membership Universitas Indonesia Library
