Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
Moh. Zahron, author
Pada skripsi ini dirancang struktur PSFET berdimensi chip 360 _m x 290 pm x 400 }gym yang bekerja untuk daerah 0 kPa-16 kPa dengan Batas tekanan maksimumnya 40 kPa untuk aplikasi pengukuran tekanan darah dalam pembuluh darah manusia. Membran mempunyai tiga lapisan penyusun (Si3N4, polisilikon dan Si3NA berdimensi 80 pm...
Depok: Fakultas Teknik Universitas Indonesia, 1997
S38862
UI - Skripsi (Membership) Universitas Indonesia Library
