Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
Nani Suryani, examiner
ABSTRAK
Dalam Tesis ini dirancang dan dibuat suatu struktur CCD jenis buried channel (BCCD) 3 gate, menggunakan bahan silikon dengan gate dari bahan alumunium, yang dianalisis dan disimulasikan melalui program simulasi pada perangkat lunak SSUPREM dan MATLAB.
Pabrikasi dilakukan di Laboratorium TELKOMA LIPI Bandung, menggunakan teknologi difusi planar, kemudian dilakukan pengukuran kedalaman...
Depok: Fakultas Teknik Universitas Indonesia, 1997
T-Pdf
UI - Tesis Membership Universitas Indonesia Library
