Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
Badrul Munir, author
Lapisan tipis indium timah oksida (ITO) dideposisikan pada substrat gelas corning dengan metode sputtering menggunakan gas argon. Parameter deposisi dan penambahan oksigen dalam gas sputtering dioptimasi untuk mendapatkan tingkat transparansi lapisan tertinggi dan resistivitas listrik terendah melalui pengamatan struktur, sifat listrik dan sifat optik. Peningkatan laju deposisi dan ketebalan lapisan...
Depok: Direktorat Riset dan Pengabdian Masyarakat Universitas Indonesia, 2012
AJ-Pdf
Artikel Jurnal Universitas Indonesia Library
