Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
Telah dibuat studi awal pembuatan sensor pH berdasarkan prinsip kerja FET, yang terdiri atas silikon tipe-p, tebal 0.1 mm yang dilapisi dengan Si02 dan alumunium (Si02/Si/A1). Permukaan Si02 adalah permukaan kontak sensor dengan cairan. Pelapisan Si02 dilakukan dengan cara meletakkan wafer Si pada udara luar selama 24 jam dan 48...
JURFIN 6:19 (2002)
Artikel Jurnal Universitas Indonesia Library
