Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
Lusitra Munisa, author
Lapisan tipis amorf silikon karbon terhidrogenasi telah dibuat dengan metode depasisi DCRMS (dc magnetron sputtering). Spektrum inframerah lapisan tipis amorf silikon karbon yang dihasilkan pada penelitian ini memiliki tiga daerah absorpsi yang terletak di sekitar 600-900 cm2, 1900-2200 cm2 dan 2800-3000 cm2. Mode-mode vibrasi struktur ikatan yang terdapat pada lapisan...
Depok: Universitas Indonesia, 1999
T-Pdf
UI - Tesis (Membership) Universitas Indonesia Library
