Ditemukan 2 dokumen yang sesuai dengan query
Jamal A. Rachman, author
SiO2 merupakan lapisan yang sensitif dan aktif dalam komponen-konponen semikonduktor. Dalam proses oksidasi pembuatan komponen KOSFET, dapat terjadi pencemaran lapisan isolator ini karena kontaminasi. Pencemaran menyebabkan terjadinya ion-bergerak di dalam lapisan oksida, sehingga mengganggu kestabilan sifat listrik. Dengan menggunakan Trichloroethylene (TCE) sebagai ambient pada proses oksidasi, diharapkan jumlah ion-bergerak dapat...
Depok: Universitas Indonesia, 1989
T-Pdf
UI - Tesis Membership Universitas Indonesia Library
This study develops, evaluates, and optimizes the potential of a novel "counter-diffusional?
membrane biofilm reactor to biologically treat and remove trichloroethylene (TCE) from contaminated
soil and groundwater caused by industrial activities (industrial solvent). The objectives of the research
are to investigate and evaluate design and operational factors reflecting the sustainability and
degradation rates of...
Jurnal Teknologi ; Vol. 19 (3) September 2005 : 267-277, 2005
JUTE-19-4-Des2005-267
Artikel Jurnal Universitas Indonesia Library
