Ditemukan 1 dokumen yang sesuai dengan query
Muhammad Hikam, author
Pendahuluan
Pada Penelitian RUT IX tahun I, telah dilakukan penumbuhan film tipis pyroelektrik PbZro.525Ti0,475O3 (PZT) dengan teknik spin coating dan karakterisasinya mencakup struktur mikro dengan teknik XRD, morfologi permukaan dengan teknik SEM, nilai dielektrikum, kapasitans kapasitor dan banyaknya muatan yang tcrperangkap di antara substrat Si dengan film tipis PZT per satuan...
Fakultas Matematika dan Ilmu Pengetahuan Alam Universitas Indonesia, 2002
LP-pdf
UI - Laporan Penelitian Universitas Indonesia Library
