Identifikasi struktur-struktur ikatan pada lapisan tipis amorf silikon karbon (A-sic:H) hsil deposisi Dc sputering dengan menggunakan spektroskopi inframerah

Identifikasi struktur ikatan pada lapisan tipis amorf silikon karbon (A-sic:H) hasil deposisi DC sputtering dengan menggunakan spektroskopi inframerah

Pengaruh anil termal terhadap mode -mode vibrasi inframerah lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi metode DCsputtering dengan target grafit

Studi disorder lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi metode DC sputtering

Studi spektroskopi ellipsometri lapisan tipis amorf silikon karbon (a-SiC:H) yang dihasilkan dengan metode deposisi DC sputtering