Pengaruh perbedaan material target sputtering terhadap konstanta optis lapisan tipis amorf silikon karbon hasil deposisi metode dc sputtering

Penentuan konstanta optis dengan menggunakan spektrum transmisi untuk lapisan tipis amorf silikon karbon(a-SiC:H) hasil deposisi DC sputtering

aPengaruh perbedaan material target sputtering terhadapkonstansa optis lapisan tipis amorf silikon karbon hasil deposisi metode DC Sputtering

Spektroskopi inframerah dan sifat optis amorf silikon karbon (a-SiC:H) hasil deposisi metode DC magnetron sputtering

Identifikasi struktur ikatan pada lapisan tipis amorf silikon karbon (A-sic:H) hasil deposisi DC sputtering dengan menggunakan spektroskopi inframerah